姓名：陈子琪

联系方式：chenziqi@hust.edu.cn

教育经历

华中科技大学（硕博连读）

2012~2016 武汉光电国家实验室 光学工程 博士研究生

2010~2012 能源与动力工程学院 化工过程机械 硕士研究生（含硕士学位）

武汉工程大学

2006~2010 机电工程学院 过程装备与控制工程

工作经历

2018.6 ~ 至今  华中科技大学 光学与电子信息学院/博士后

2016.10 ~ 2018.4  武汉新芯(XMC)/长江存储(YMTC)   先进工艺部（Advanced Module）/高级工程师

技术背景

l 新型三维存储器关键工艺技术研究

l 3D NAND闪存制造工艺研发

l 极紫外（EUV）光源技术研发

项目成果

l 第一发明人国内发明专利授权19项

授权号：CN110088904B；CN110088903B；CN107478171B；CN107863285B；CN107816949B；CN107833842B；CN107863351B；CN107564914B；CN107863348B；CN107579015B；CN107527918B；CN107680972B；CN107579070B；CN107507831B；CN107579039B；CN107946314B；CN107818984B；CN107564915B；CN107338479B；

l 第一发明人美国发明专利授权2项

授权号：US10797067B2；US10541249B2