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陈子琪

【来源: | 发布日期:2020-12-31 】

姓名:陈子琪

联系方式:chenziqi@hust.edu.cn

教育经历

华中科技大学(硕博连读)

2012~2016 武汉光电国家实验室 光学工程 博士研究生

2010~2012 能源与动力工程学院 化工过程机械 硕士研究生(含硕士学位)

武汉工程大学

2006~2010 机电工程学院 过程装备与控制工程

工作经历

2018.6 ~ 至今  华中科技大学 光学与电子信息学院/博士后

2016.10 ~ 2018.4  武汉新芯(XMC)/长江存储(YMTC)   先进工艺部(Advanced Module/高级工程师

技术背景

l 新型三维存储器关键工艺技术研究

l 3D NAND闪存制造工艺研发

l 极紫外(EUV)光源技术研发

项目成果

l 第一发明人国内发明专利授权19

授权号CN110088904BCN110088903BCN107478171BCN107863285BCN107816949BCN107833842BCN107863351BCN107564914BCN107863348BCN107579015BCN107527918BCN107680972BCN107579070BCN107507831BCN107579039BCN107946314BCN107818984BCN107564915BCN107338479B

l 第一发明人美国发明专利授权2

授权号US10797067B2US10541249B2