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华中科技大学-日本大阪大学研究生短期联合培养

【来源: | 发布日期:2017-06-23 】

华中科技大学-日本大阪大学研究生短期联合培养

应与研究所合作的谷口教授实验室邀请,2017年3月,研究所派遣两名硕士研究生李世杰、陈博伟到日本访问交流三个月。

校园风光

谷口教授实验室隶属于大阪大学产业研究院,该实验室在生物传感器和微加工领域的研究水平处于世界前列,曾在nature正刊及其子刊发表过多篇论文。实验室教授和研究员科研能力突出,同时实验平台工艺设备齐全,如125KeV的EBL、金属/绝缘物溅射仪、CVD、ICP/CCP刻蚀仪、光刻机、SEM、硅片切割器等等,下面列举了部分仪器:

部分仪器

本次交流的科研课题是利用纳流体模仿神经突触的功能。要求器件的最小线宽在30nm以下,而且要实现栅控作用,在交流访问期间完成锥形纳米孔的制备和测试。最终通过与该实验室的研究人员共同合作,完成了20nm锥形纳沟道的制备,攻克了防止刻蚀金属卷曲,对光刻胶进行刻蚀等工艺难题以及电流测试难题(在此特别感谢村上女士和筒井教授的悉心指导)。最终测得整流特性,为后续对沟道进行特定的修饰,实现短期STDP并完成最后的器件和测试打下基础。

实验室一角