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Cascade Microtech M150测量平台

【来源:信息存储材料与器件研究所 | 发布日期:2017-06-28 】

设备名称

Cascade Microtech M150测量平台

设备展示

设备简介

Cascade Microtech的M150测量平台是一款结构简单、高精确度、多功能、及高性价比的150mm基准的探针台,解决了一系列的测量难题。该探针台采用了一种模块化设计,提供了众多的配置可能性,旨在满足诸如单切晶片至150mm晶圆、模块、印刷电路板组件和微流体芯片等多种器件的精密电测量的需要。M150可提供三种预配置的探针台,均针对您的应用及预算而优化。您可以通过确定最适合自己当前需要的M150模块来设计特有的探针台,或对自己现用的M150进行升级以满足未来的测量需求。

优越的应用灵活性使得M150能满足DC和RF测量、器件和晶圆表征测试(DWC)、失效分析(FA)、亚微米探测、MEMS和光学工程测量;M150也能用作一个灵活的探头卡,实现wafer级的可靠性应用(WLR),能同时配备多达20个探针座。

功能描述

1.基座基本尺寸含升高板的尺寸面积Z轴可移动范围

标准平台675mm x 675mm 825mm x 675mm 1960 cm2 5.5mm

多功能平台825mm x 675mm 847mm x 758mm 2700 cm2

2.X-Y-θ平台XY范围最小步长θ范围晶圆范围

真空运行平台155mm x 155mm 3μm +/- 60° 70mm

标准平台155mm x 155mm 2μm +45°(CCW) , - 90°(CW) 250mm

快速运行平台155mm x 155mm 1μm +45°(CCW) , - 90°(CW) 275mm

3.DUT支架卡盘基底平整度三轴接头绝缘层附加卡盘

150mm卡盘150mm真空卡盘晶圆,陶瓷<10μm Yes>100GΩ 2个独立的卡盘,且还有一个附加卡盘

PCB 150mm宽支架PCB,移动装置NA NA NA NA

4.显微镜支架移动范围(XY)Z方向最小步长

臂式支架>150mm x 150mm NA NA

LAHS显微镜支架150mm x 150mm可选,最大为100mm 2μm

主要特点

1.结构简单、多功能;

2.平台配置可满足DC、RF和亚微米测量;

3.独特的模块化设计可根据客户的需要配置和升级;

4.量程大、可配探针配件;

注意事项

1.请在使用前保证接受过仪器使用培训,新同学在使用前需要师兄师姐在旁指导。

2.每次使用前一定要做好记录,使用时注意接线的正确性,动手要轻,避免探针的损耗。

3.使用时遇到的各种问题一定要及时记录,及时换针,保证仪器的正常使用。

4.使用加热设备或磁场设备时避免直接触碰探针台,防止受伤。

5.使用探针台一定要避免探针与台面的直接接触,每次使用完毕记得抬针。

6.实验室内部使用请遵照预约顺序,取消请提前通知,外部同学使用请经过实验室老师的批准。

上诉注意事项的违背者需要进行通报批评,情节严重者禁止一定时间内的B1500使用资格。